该真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管，**十万次以上的循环使用，轴向驱动力可达到150N，在**超高真空密封的同时，通过手动调节手轮（或电机驱动），实现高精度的直线驱动，位置控制，安装角度自由；根据客户要求，可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构，客户根据使用要求选用。
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主要参数 |
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适用范围： |
105～5x10-7Pa |
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真空漏率： |
≤1x10-10Pa.m3/s |
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适用温度： |
-30～300℃ |
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驱动方式： |
手动 |
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驱动方向： |
直线 |
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安装状态： |
任意方向 |
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连接方式： |
CF法兰或客户 |
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主要零件材料 |
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焊接波纹管 |
316L |
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刻度圆柱 |
304 |
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进给刻度盘 |
LV12阳极化 |
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订货型号 |
接口法兰 |
驱动距离(mm) |
精度(mm) |
L（mm） |
R/E(mm) |
A(mm) |
B(mm) |
C(mm) |
D(mm) |
K(mm) |
|
LMF-N-CF35-50 |
CF35 |
50 |
0.02/0.01 |
130 |
56/106 |
34 |
70 |
47 |
M4X10 |
24 |
|
LMF-N-CF35-100 |
CF35 |
100 |
0.02/0.01 |
180 |
76/176 |
34 |
70 |
47 |
M4X10 |
24 |
|
LMF-N-CF35-150 |
CF35 |
150 |
0.02/0.01 |
230 |
96/246 |
34 |
70 |
47 |
M4X10 |
24 |
根据客户要求，可以制作各种驱动长度
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订货型号 |
接口法兰 |
驱动距离S(mm) |
精度(mm) |
L （mm） |
A (mm) |
B (mm) |
C (mm) |
MD x K (mm) |
|
LMF-S-CF16-50 |
CF16 |
50 |
0.02/0.01 |
184 |
11 |
34 |
45 |
M5x12 |
|
LMF-S-CF16-100 |
CF16 |
100 |
0.02/0.01 |
255 |
11 |
34 |
45 |
M5x12 |
|
LMF-S-CF35-50 |
CF35 |
50 |
0.02/0.01 |
156 |
12 |
70 |
47 |
M6x12 |
|
LMF-S-CF35-100 |
CF35 |
100 |
0.02/0.01 |
230 |
12 |
70 |
47 |
M6x12 |
|
LMF-S-CF35-150 |
CF35 |
150 |
0.02/0.01 |
310 |
12 |
70 |
47 |
M6x12 |
根据客户要求，可以制作各种驱动长度
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订货型号 |
接口法兰 |
驱动距离(mm) |
精度(mm) |
R/E（mm） |
A(mm) |
B(mm) |
C(mm) |
D(mm) |
K(mm) |
|
LMF-Z-CF16-50 |
CF16 |
50 |
0.02 |
83/133 |
64 |
195 |
100 |
16 |
20 |
|
LMF-Z-CF16-100 |
CF16 |
100 |
0.02 |
105/205 |
64 |
265 |
100 |
16 |
20 |
|
LMF-Z-CF35-50 |
CF35 |
50 |
0.02 |
85/135 |
101 |
190 |
122 |
35 |
15 |
|
LMF-Z-CF35-100 |
CF35 |
100 |
0.02 |
105/205 |
101 |
260 |
122 |
35 |
15 |
|
LMF-Z-CF50-50 |
CF50 |
50 |
0.02 |
90/140 |
116 |
192 |
151 |
50 |
15 |
|
LMF-Z-CF50-100 |
CF50 |
100 |
0.02 |
110/210 |
116 |
262 |
151 |
50 |
15 |
|
LMF-Z-CF63-50 |
CF63 |
50 |
0.02 |
101/151 |
150 |
218.5 |
195 |
63 |
20 |
|
LMF-Z-CF63-100 |
CF63 |
100 |
0.02 |
121/221 |
150 |
289 |
195 |
63 |
20 |
|
LMF-Z-CF100-50 |
CF100 |
50 |
0.02 |
112/162 |
195 |
250 |
256 |
100 |
21 |
|
LMF-Z-CF100-100 |
CF100 |
100 |
0.02 |
132/232 |
195 |
320 |
256 |
100 |
21 |
根据客户要求，可以制作各种接口及驱动长度
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