洁净度5级

环境空气中大于等于0.5μm的微粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的微粒数为0粒/L。

相当于原100级。

洁净度6级

环境空气中大于等于0.5μm 的微粒数大于3500粒/m3（3.5粒/L）到小于等于35200粒/m3（35.2粒/L）；大于等于5μm的微粒数小于等于293粒/m3（0.3粒/L）。

相当于原1000级。

洁净度7级

环境空气中大于等于0.5μm的微粒数大于35200粒/m3（35.2粒/L）到小于等于352000粒/m3（352粒/L）；大于等于5μm的微粒数大于293粒/m3（0.3粒/L）到小于等于2930粒/m3（3粒/L）。

相当于原1oooo级。

洁净度8级

环境空气中大于等于0.5μm的微粒数大于352000粒/m3（352粒/L）到小于等于352oooo粒/m3（3520粒/L）；大于等于5μm 的微粒数大于2930粒/m3 （3粒/L）到小于等于29300粒/m3（29粒/L）。

相当于原1OOOOO级。

洁净度8.5级

环境空气中大于等于0.5μm的微粒数大于352OOOO粒/m3（3520粒/L）到小于等于1112OOOO粒/m3（11200粒/L）；大于等于5μm的微粒数大于29300粒/m3（29粒/L）到小于等于92500粒/m3（92粒/L）。

相当于原30万级。