工艺卡点特性

1.提高产品成品率：硅片装夹牢固，减少掉片现象，减少氮化硅的色差片，提高了成品率。

2.工艺点钩点小，新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm2，新的菱形工艺点钩点面积是0.619mm2。

3.使用寿命长。

4.采用SGL高纯石墨，纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。

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