晶片规格：
2-8〞单、双cassette

主要材料:
金属骨架+SUS304壳体，槽体材质SUS316

工艺槽功能：
循环过滤+加热

基础工艺流程:
药液槽→丙酮→IPA→QDR

设备类型：
手动/半自动/全自动（定制）

Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm